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晶圓制造工序之一離子注入，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵領(lǐng)域。離子注入技術(shù)是一種改變材料性能的高新技術(shù)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料摻雜，金屬、陶瓷等領(lǐng)域，在當(dāng)代制造大規(guī)模集成電路中，可以說是一種必不可少的工序。

半導(dǎo)體制造工藝中的溫度高達1400 °C，并且有腐蝕性很強的氣體、電磁場和強大的機械力對傳統(tǒng)材料而言會產(chǎn)生諸多問題。

我們采用鎢、鉬、鉭等制成的高溫零部件應(yīng)用于離子注入制程，完好整合了防腐性、材料強度、高熱導(dǎo)率和絕對純度等特性，性能穩(wěn)定。確保了離子的優(yōu)良產(chǎn)生，在通往晶圓的光徑上離子受精準指引且不含雜質(zhì)。

衡泌離子注入過程用鎢鉬產(chǎn)品：

· 燈絲（鎢及其鎢合金）

· 弧縫（鎢及其鎢合金）

· 夾具（鎢、鉬及其合金）

· 陰極（鎢及其鎢合金）

· 零備件（鎢、鉬、鉭及其合金）

· 腔室（鎢、鉬及其合金） 

衡泌離子注入鎢鉬部件的優(yōu)勢：

· 簡化部件安裝和拆卸

· 延長使用壽命

· 降低清潔成本

· 減少維護工作量

· 縮短停工時間

離子注入部件應(yīng)用示意圖：

離子注入鎢鉬零部件精密加工服務(wù)：

衡泌加工精度控制在0.001mm，以及我們在半導(dǎo)體行業(yè)中10多年的經(jīng)驗，我們生產(chǎn)嚴格符合OEM（原設(shè)備生產(chǎn)商）標準的鎢鉬零部件。擁有鎢鉬板材、棒材專用配方，結(jié)合完整的精密機加工和檢測設(shè)備，能夠按客戶的要求定制加工不同精度、不同形狀的鎢鉬零部件，能夠提供離子注入機（大束流、中束流、高能）弧光反應(yīng)室用關(guān)鍵鎢、鉬、鉭零組件及耗件。